Clean Room & 奈米制造设施

电子游戏软件的开放用户设施

电子游戏软件和外部用户开放, 该实验室拥有价值数百万美元的30多个高端微纳米仪器系统.

Comprised of 1,500平方英尺的一级,000 and Class 10,000个洁净室空间, 该实验室使高灵敏度的材料和设备能够在没有污染物的情况下制造. 此外,还有超过2000平方英尺的服务和支持空间. 该实验室由一个空气处理装置支持,每45秒彻底清洁和电子游戏正规平台设施中的所有空气.

Specs

  • 1500平方英尺的1000级和10000级洁净室空间
  • 2000平方英尺的服务和支持区域空间
  • 10,000 CFM空气处理机组,每小时换气约75次
  • 室温在65-70°F之间
  • 相对湿度50-60%
  • 18.2兆欧姆去离子水
  • 室内氮气(N2)从液氮中沸腾,35- 45psi
  • 压缩干空气(CDA)输送压力90- 100psi
  • 30+资本设备系统

Safe Environment

  • 洁净室内外安全洗眼和安全淋浴
  • 3个用于化学工作的排气罩.
  • 进入洁净室前需要穿工作服,以保护环境和正在处理的样品. 提供无颗粒蓬松帽,工作服,鞋套,手套和安全眼镜.
  • Face shields, 耐化学性围裙, protective sleeves, 并且为化学工作提供了重型耐化学手套.
  • 所有高压设备至少有一个EMO用于出现问题时的紧急关闭
  • 没有剧毒气体.

Dedicated Staff

每位用户都接受我们员工的培训. 工作人员在那里帮助用户排除故障,并在必要时提供支持.

Why BCISCRNF

  • 最先进的设施和设备
  • 适合小型初创公司和大学
  • 易于新用户设置
  • 成本效益/负担得起的价格
  • 一对一的培训

Laboratory


Equipment and Rates

GeneralInternal Rates
(Boston College)
对外学术收费
(non profit)
外部商业
Rates
Cleanroom Use$32/hr
$32/hr
$60/hr
远程工作人员协助$100/hr$100/hr$100/hr

 

 

EquipmentVendor
& Model
Internal Rates对外学术收费外部商业
Rates
扫描电子显微镜JEOL
JSM-7001F
$44/hr

$44/hr

$105/hr

EDX (on SEM)Oxfordincluded in
SEM rate

included in
SEM rate

included in
SEM rate

聚焦离子束系统JEOL
JIB-4500
$45/hr

$55/hr

$115/hr

纳米操作与电探测
Micromanipulator
Kleindiek 
MM3A
included in
FIB rate
included in
FIB rate
included in
FIB rate
   

 

 
EquipmentVendor
& Model
Internal Rates对外学术收费外部商业
Rates
Mask AlignerKari Suss MA6--

--

--

电子束书写器(扫描电镜)Nabity$44/hr

$44/hour

$105/hr

抗旋转通风柜

Reynolds Tech

FWS-196-SS

--

--

--

Resist Spinner (2)

Brewer Science

Cee 100

------
Resist SpinnerLaurell WS-400E--

--

--

Hot Plates (2)--------
光刻胶稳定系统Optical Associates PL-16-100 UV------
热扫描探针光刻(t-SPL)系统

海德堡的仪器

Nanofrazor Scholar

------
直写无掩码对齐器

海德堡的仪器 

µMLA

------

*If the 海德堡纳米剃刀学者 是否用于数据收集,后来用于任何出版物,海报或演示文稿等., 请务必以以下声明的方式感谢美国国家科学基金会的支持:“本[出版物/演讲/海报]中报道的电子游戏正规平台得到了美国国家科学基金会核磁共振项目的支持,奖励号为1S10OD026910-01A1.”2117711"; Principal Investigator: Kenneth, Burch

EquipmentVendor
& Model
Internal Rates对外学术收费外部商业
Rates
溅射沉积系统AJA International
Orion 8
$40/hour$40/hour$95/hr
台式溅射沉积Anatech Hummer 6.6$10/run$10/run$25/run
原子层沉积Ultratech$15/hr$15/hr$50/hr
电子束沉积系统Kurt J. LeskerPVD-75$35/run$40/run$75/run
Thermal EvaporatorKurt J. LeskerPVD-75$10/hr$10/hr$45/hr
溅射沉积系统Kurt J. LeskerPVD-75$35/run$35/run$75/run
PE-CVDPlasma-Therm
Vesaline LL
$40/run$40/run$95/run
电子束/热蒸发器Sharon Vacuum$35/hr$40/hr$75/hr
电镀系统Reynolds Tech------
Atomic Layer
Deposition System
Arradiance
GemStar 
ALD System
$15/hr$15/hr$50/hr
EquipmentVendor
& Model
Internal Rates对外学术收费对外商业费率
Optical Microscope
(High Power)
Olympus
BX61
------
Optical Microscope
(Low Power)
Carl Zeiss, Inc.------
Reflectometer任务峰值光学 MP100-S------
表面轮廓曲线仪Veeco 
Dektak 150
------
光谱椭圆计J.A.WoollamVertical VASE------
EquipmentVendor
& Model
Internal Rates对外学术收费对外商业费率
ICP RIEPlasma-ThermVersaline LL ICP$40/hr$40/hr$95/hr
酸蚀通风柜Reynolds Tech
FWS-196-4910
------
UV-Ozone StripperSamco UV-1------
微波等离子体蚀刻PVATePla PS-210------
XeF2 Etch SystemXACTIX X-SYS-
EXP Xetch
$15/hr$20/hr$50/hr
EquipmentVendor
& Model
Internal Rates对外学术收费对外商业费率
溶剂清洗通风柜Reynolds Tech
FWS-196-SS
------
临界点干燥器Tousimis
Autosamdri-815B
$8/run$15/run$25/run
EquipmentVendor
& Model
Internal Rates对外学术收费对外商业费率
Atmospheric Furnace林德伯格/蓝M 3区管式炉STF55666C$15/hr$20/hr$50/hr
通用烤箱(2个)--------
Vacuum Oven (2)--------
快速热处理器Allwin21 RTP 
$5/run$10/run$20/run
EquipmentVendor
& Model
Internal Rates对外学术收费对外商业费率
Bead BlasterEconoline磨料喷砂箱$15/hr$15/hr$40/hr
Dicing SawDiscoUSA
DAD3220
$16/hr*$20/hr*$65/hr*
Diamond Wheel SawSouth Bay TechModel 650------
Wire BonderWest-Bond
Model 747630E
$10/hr$15/hr$35/hr
EquipmentVendor
& Model
Internal Rates对外学术收费对外商业费率
RF LCR MeterAgilent 4287A------
Probe/Test StationCascade Microtech M150------
四点探测站Jandel
MHMP/RMS-AR
------


常见问题

 

工厂正在进行的工作示例

局部屏蔽对多电极阵列串扰的抑制, J.R. Naughton, J.A. Varela, T.J. Connolly, S. Shepard, T.E. Dodge, K.Kempa, M.J. Burns, J.P. Christianson, and M. J. 纳米技术的前沿.DOI:10.3389/fnano.2022.84337.

用EQCM - D原位探测水和非水锌电解质中固体电解质界面的质量交换, Saida Cora, Suzalmurni Ahmad和Niya Sa, ACS应用材料公司 & Interfaces 2021 13 (8),10131-10140 doi: 10 .使用本文.1021/acsami.1c00565.

纳米等离子体天线无线通信系统, J. Merlo, N. 内斯比特,伊兹·卡姆,A. Rose, L. D’Imperio, C. Yang, J. Naughton, K. Kempa, M. J.  诺顿,《科学报告.31710 DOI: 10.1038/srep 31710 (2016).

液滴n- seq结合微流体和n- seq鉴定复杂的单细胞表型, D. Thibault, S. Wood, P. Jensen, T. 范·奥皮宁,《生物工程学报》,DOI: 10.1101/391045 (2018).

氢键控制电催化CO还原反应的产物选择性, J. Li, X. Li, C. Gunathunge, M. Waegele, PNAS, DOI: 10.1073/pnas.1900761116 (2019).

基于纳米同轴电缆的电化学传感器; B. Rizal, M. Archibald, T. Connolly, S. Shepard, M.J. Burns, T.C Chiles, M.J. 诺顿,分析化学,DOI: 10.1021 / ac402411x (2013).


全溶液处理微/纳米线,用电镀焊接作为透明导电电极, C. Yang, J. Merlo, L. D’Imperio, A. Rose, Y. Calm, B. Han, J. Gao, G. Zhou, M. Burns, K. Kempa, M.J. 物理状态固化-快速电子游戏正规平台信函. DOI: 10.1002/pssr.201900010 (2019).

可电寻址的数组, 独立的光传输三维纳米结构, 柔性聚合物薄膜, L. D’Imperio, A. McCrossan, J. Naughton, J. Merlo, Y. Calm, M. Burns, M.J. 诺顿,柔性印刷电子,DOI: 10.1088/2058 - 8585 / aac8fc (2018).

使用碳纳米管抗体微阵列,捕获无标记的乳腺癌细胞, Farhad Khosravi等,纳米技术,DOI: 0.1088/0957-4484/27/13/13LT02 (2016).


Cuddalorepatta, G. K., van Rees, W. M., Li, H., Pantuso, D.,Mahadevan L.M. & Vlassak, J.J.,独立超薄膜的泊松比和残余应变, 固体力学与物理学报.  http://doi.org/10.1016/j.jmps.2019.103821

Cuddalorepatta, G. K., Li, H., Pantuso, D., & Vlassak, J.J. “独立超薄膜应力-应变行为的测量”,材料,卷. 9,100502, 2020.  http://doi.org/10.1016/j.mtla.2019.100502.

Cuddalorepatta, G. K., Sim, G., Li, H., Pantuso, D., & Vlassak, J.J. “独立超薄膜的残余应力驱动测试技术:弹性行为和残余应变”,材料电子游戏正规平台杂志, 34(20), 3474-3482, 2019.   http://doi.org/10.1557/jmr.2019.278

 

Nanofabrication & Cleanroom Facility
Chris Gunderson
Boston College
245 Beacon St.
Room #005 C
Chestnut Hill, MA 02467

617 552 0049
gunderch@jingye0769.com